7月13日，上海精測半導(dǎo)體官宣，國內(nèi)首臺12寸獨(dú)立式光學(xué)線寬測量設(shè)備(OCD)與國內(nèi)唯一12寸全自動電子束晶圓缺陷復(fù)查設(shè)備(Review SEM)順利出機(jī)。同日，上海精測半導(dǎo)體母公司精測電子在其披露的投資者調(diào)研紀(jì)要中確認(rèn)，上述兩款產(chǎn)品交付的客戶為國內(nèi)一流先進(jìn)制程晶圓廠中芯國際。(中國證券報)
7月13日，上海精測半導(dǎo)體官宣，國內(nèi)首臺12寸獨(dú)立式光學(xué)線寬測量設(shè)備(OCD)與國內(nèi)唯一12寸全自動電子束晶圓缺陷復(fù)查設(shè)備(Review SEM)順利出機(jī)。同日，上海精測半導(dǎo)體母公司精測電子在其披露的投資者調(diào)研紀(jì)要中確認(rèn)，上述兩款產(chǎn)品交付的客戶為國內(nèi)一流先進(jìn)制程晶圓廠中芯國際。(中國證券報)
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