南大光電:“先進光刻膠產(chǎn)品開發(fā)與產(chǎn)業(yè)化”項目通過驗收 ©原創(chuàng) 2021-07-29 17:50 0 南大光電:公司作為牽頭單位,承擔的國家科技重大專項(02專項)“極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝”之“先進光刻膠產(chǎn)品開發(fā)與產(chǎn)業(yè)化”項目,今日收到極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝實踐管理辦公室下發(fā)的項目綜合績效評價結(jié)論書,項目通過了專家組驗收。
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