彤程新材：擬在上?；瘜W(xué)工業(yè)區(qū)內(nèi)投資6.9853億元建設(shè)“ArF高端光刻膠研發(fā)平臺建設(shè)項(xiàng)目”，主要研究ArF濕法光刻膠工業(yè)化生產(chǎn)技術(shù)開發(fā)，通過建立標(biāo)準(zhǔn)化的生產(chǎn)及控制流程，提升高端光刻膠的質(zhì)量控制水平，實(shí)現(xiàn)193nm濕法光刻膠量產(chǎn)生產(chǎn)；同時(shí)，逐步建立先進(jìn)的集成電路及配套材料開發(fā)與應(yīng)用評價(jià)平臺。