近日，中微半導(dǎo)體設(shè)備（上海）股份有限公司的電容耦合高能等離子體（CCP）刻蝕設(shè)備第2000個(gè)反應(yīng)臺(tái)順利付運(yùn)國(guó)內(nèi)一家領(lǐng)先的半導(dǎo)體制造商。本批次運(yùn)付客戶的CCP刻蝕設(shè)備反應(yīng)臺(tái)有Primo AD-RIE 及Primo HD-RIE 系列產(chǎn)品，均來(lái)自該客戶的重復(fù)訂單。