9月24日，光刻機(jī)（膠）概念持續(xù)活躍，概念龍頭張江高科漲停，再創(chuàng)歷史新高。聯(lián)合化學(xué)、華軟科技、彤程新材、格林達(dá)漲停，南大光電、安集科技、富創(chuàng)精密、芯源微漲幅超過10%。

消息面上，9月23日，在第25屆中國國際工業(yè)博覽會(huì)開幕式上，首批上海市中試平臺(tái)示范名單發(fā)布，四家入選，包括光刻膠及原材料中試平臺(tái)、新型儲(chǔ)能測(cè)試基地（應(yīng)用示范電站）中試平臺(tái)、面向航發(fā)領(lǐng)域的高端機(jī)床裝備中試平臺(tái)，以及人形機(jī)器人中試平臺(tái)。當(dāng)日，芯上微裝攜多款重磅新品精彩亮相，并憑借卓越的技術(shù)實(shí)力，成功斬獲展會(huì)最高榮譽(yù)“工博會(huì)CIIF大獎(jiǎng)”及“集成電路創(chuàng)新成果獎(jiǎng)”。上海微電子(SMEE)展臺(tái)上首次公開亮相了極紫外(EUV)光刻機(jī)參數(shù)圖。

國金證券表示，上海微電子以及芯上微裝各自都展出重磅產(chǎn)品，背后對(duì)應(yīng)的是今年產(chǎn)業(yè)端重磅的“0—1”突破，先進(jìn)封裝機(jī)臺(tái)正式量產(chǎn)、干法DUV近期將進(jìn)入量產(chǎn)測(cè)試階段、國產(chǎn)EUV進(jìn)入原理機(jī)搭建階段（本次展出為EUV概念驗(yàn)證機(jī)），國產(chǎn)光刻機(jī)產(chǎn)業(yè)進(jìn)入爆發(fā)元年。

根據(jù)華鑫證券研報(bào)，在國家政策支持下，國內(nèi)企業(yè)加速研發(fā)突破光刻機(jī)制造技術(shù)，目前國產(chǎn)光刻機(jī)在90nm及以下工藝節(jié)點(diǎn)方面取得了重要進(jìn)展。例如，上海微電子自主研發(fā)的600系列光刻機(jī)已實(shí)現(xiàn)90nm工藝的量產(chǎn)，并正在進(jìn)行28nm浸沒式光刻機(jī)的研發(fā)工作。近期，宇量昇與中芯國際的合作測(cè)試是國產(chǎn)光刻機(jī)突破的重要信號(hào)。從產(chǎn)業(yè)影響看，華鑫證券認(rèn)為光刻機(jī)技術(shù)的突破將帶動(dòng)上游材料、精密機(jī)械等配套產(chǎn)業(yè)升級(jí)，加速光刻膠、光學(xué)部件等“卡脖子”材料的國產(chǎn)化進(jìn)程，形成“龍頭帶動(dòng)、多點(diǎn)突破”的產(chǎn)業(yè)升級(jí)格局。

光刻機(jī)（膠）概念相關(guān)股票：聯(lián)合化學(xué)、華軟科技、張江高科、彤程新材、南大光電、上海新陽、晶瑞電材、芯源微、安集科技。

責(zé)任編輯：劉栩