10月27日上午，光刻機（膠）板塊大漲，截至午間收盤，晶瑞電材漲幅超過15%，安泰科技、萬潤股份10%漲停，錦華新材、佳先股份、聯(lián)合化學(xué)、艾森股份、彤程新材、鋼研納克、南大光電、江化微等漲幅居前。

消息面上，我國首個EUV光刻膠標準立項。國家標準委網(wǎng)站顯示，我國首個EUV光刻膠標準——《極紫外（EUV）光刻膠測試方法》作為擬立項標準，10月23日開始公示，截止時間為11月22日。該標準的制定不僅能夠填補國內(nèi)在該領(lǐng)域的技術(shù)標準空白，更將通過建立統(tǒng)一的測試方法體系，為國內(nèi)外EUV光刻膠的性能評價提供客觀標尺，提升我國在全球半導(dǎo)體材料領(lǐng)域的話語權(quán)和競爭力。當(dāng)前，隨著全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)向先進制程加速演進，EUV光刻技術(shù)已成為7 nm及以下節(jié)點的唯一量產(chǎn)方案。但是，EUV光刻膠完全被國外先進半導(dǎo)體材料公司所壟斷（JSR、東京應(yīng)化等占據(jù)超過95%全球市場份額），國產(chǎn)化率為零，國內(nèi)的研發(fā)也仍處于起步階段，亟需突破材料自主化與標準化壁壘。

在基礎(chǔ)研究方面，北京大學(xué)、南開大學(xué)、華東理工大學(xué)、清華大學(xué)相關(guān)研究成果好消息不斷。近日，北京大學(xué)化學(xué)與分子工程學(xué)院彭海琳教授團隊及合作者通過冷凍電子斷層掃描技術(shù)，首次在原位狀態(tài)下解析了光刻膠分子在液相環(huán)境中的微觀三維結(jié)構(gòu)、界面分布與纏結(jié)行為，指導(dǎo)開發(fā)出可顯著減少光刻缺陷的產(chǎn)業(yè)化方案。10月16日，南開大學(xué)現(xiàn)代光學(xué)研究所發(fā)布消息，其研究團隊在氧化鈦團簇光刻材料領(lǐng)域取得重要進展，成功實現(xiàn)原本光刻惰性的鈦氧簇表現(xiàn)出納米圖案化應(yīng)用，并最終制備出12.9納米高分辨負性光刻圖案，為繼續(xù)發(fā)展鈦氧簇基EUV光刻膠奠定基礎(chǔ)。9月19日，華東理工大學(xué)發(fā)布消息稱，該校先進光刻膠薄膜沉積制備研究獲進展，提出了一種間歇性旋涂化學(xué)液相沉積制備非晶態(tài)沸石咪唑酯骨架（aZIF）薄膜的方法，實現(xiàn)了薄膜沉積速率和厚度的可控，并進行了電子束光刻和超越極紫外光刻驗證。7月28日，清華大學(xué)發(fā)布消息稱，該?；瘜W(xué)系許華平教授團隊在極紫外（EUV）光刻材料上取得重要進展，開發(fā)出一種基于聚碲氧烷的新型光刻膠，為先進半導(dǎo)體制造中的關(guān)鍵材料提供了新的設(shè)計策略。

上市公司方面，光刻膠相關(guān)概念股有20余只，截至10月26日，已有6家公司發(fā)布三季報數(shù)據(jù)，業(yè)績?nèi)肯蚝谩＞痣姴那叭径葰w母凈利潤1.28億元，同比增長超192倍，公司表示主要系產(chǎn)品毛利上漲，交易性金融資產(chǎn)價格波動所致。久日新材前三季度歸母凈利潤271.98萬元，同比扭虧。公司表示，報告期內(nèi)穩(wěn)步實現(xiàn)了部分光引發(fā)劑產(chǎn)品提價策略落地。艾森股份前三季度歸母凈利潤為3448萬元，同比上升44.7%，報告期內(nèi)公司下游終端需求的持續(xù)增長，公司營業(yè)收入同比穩(wěn)健增長。瑞聯(lián)新材、鼎龍股份預(yù)告前三季度凈利潤均預(yù)增，康達新材預(yù)告扭虧。

據(jù)銳觀產(chǎn)業(yè)研究院報告，2024年我國光刻膠市場規(guī)模增長至114億元以上，預(yù)計2025年光刻膠市場規(guī)?？蛇_123億元。銀河證券認為，光刻膠作為半導(dǎo)體、印制電路板、平板顯示等行業(yè)的基礎(chǔ)材料，其技術(shù)進步可以促進相關(guān)產(chǎn)業(yè)鏈的協(xié)同發(fā)展，上游材料供應(yīng)商、設(shè)備制造商，中游光刻膠生產(chǎn)企業(yè)，以及下游光刻膠產(chǎn)品應(yīng)用企業(yè)都能從中受益。

光刻機（膠）板塊相關(guān)股票：晶瑞電材、錦華新材、安泰科技、萬潤股份、佳先股份、聯(lián)合化學(xué)、艾森股份、彤程新材、鋼研納克、南大光電、江化微。

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責(zé)任編輯：劉栩