10月27日上午，光刻機(jī)（膠）板塊大漲，截至午間收盤(pán)，晶瑞電材漲幅超過(guò)15%，安泰科技、萬(wàn)潤(rùn)股份10%漲停，錦華新材、佳先股份、聯(lián)合化學(xué)、艾森股份、彤程新材、鋼研納克、南大光電、江化微等漲幅居前。

消息面上，我國(guó)首個(gè)EUV光刻膠標(biāo)準(zhǔn)立項(xiàng)。國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)委網(wǎng)站顯示，我國(guó)首個(gè)EUV光刻膠標(biāo)準(zhǔn)——《極紫外（EUV）光刻膠測(cè)試方法》作為擬立項(xiàng)標(biāo)準(zhǔn)，10月23日開(kāi)始公示，截止時(shí)間為11月22日。該標(biāo)準(zhǔn)的制定不僅能夠填補(bǔ)國(guó)內(nèi)在該領(lǐng)域的技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)空白，更將通過(guò)建立統(tǒng)一的測(cè)試方法體系，為國(guó)內(nèi)外EUV光刻膠的性能評(píng)價(jià)提供客觀標(biāo)尺，提升我國(guó)在全球半導(dǎo)體材料領(lǐng)域的話(huà)語(yǔ)權(quán)和競(jìng)爭(zhēng)力。當(dāng)前，隨著全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)向先進(jìn)制程加速演進(jìn)，EUV光刻技術(shù)已成為7 nm及以下節(jié)點(diǎn)的唯一量產(chǎn)方案。但是，EUV光刻膠完全被國(guó)外先進(jìn)半導(dǎo)體材料公司所壟斷（JSR、東京應(yīng)化等占據(jù)超過(guò)95%全球市場(chǎng)份額），國(guó)產(chǎn)化率為零，國(guó)內(nèi)的研發(fā)也仍處于起步階段，亟需突破材料自主化與標(biāo)準(zhǔn)化壁壘。

在基礎(chǔ)研究方面，北京大學(xué)、南開(kāi)大學(xué)、華東理工大學(xué)、清華大學(xué)相關(guān)研究成果好消息不斷。近日，北京大學(xué)化學(xué)與分子工程學(xué)院彭海琳教授團(tuán)隊(duì)及合作者通過(guò)冷凍電子斷層掃描技術(shù)，首次在原位狀態(tài)下解析了光刻膠分子在液相環(huán)境中的微觀三維結(jié)構(gòu)、界面分布與纏結(jié)行為，指導(dǎo)開(kāi)發(fā)出可顯著減少光刻缺陷的產(chǎn)業(yè)化方案。10月16日，南開(kāi)大學(xué)現(xiàn)代光學(xué)研究所發(fā)布消息，其研究團(tuán)隊(duì)在氧化鈦團(tuán)簇光刻材料領(lǐng)域取得重要進(jìn)展，成功實(shí)現(xiàn)原本光刻惰性的鈦氧簇表現(xiàn)出納米圖案化應(yīng)用，并最終制備出12.9納米高分辨負(fù)性光刻圖案，為繼續(xù)發(fā)展鈦氧簇基EUV光刻膠奠定基礎(chǔ)。9月19日，華東理工大學(xué)發(fā)布消息稱(chēng)，該校先進(jìn)光刻膠薄膜沉積制備研究獲進(jìn)展，提出了一種間歇性旋涂化學(xué)液相沉積制備非晶態(tài)沸石咪唑酯骨架（aZIF）薄膜的方法，實(shí)現(xiàn)了薄膜沉積速率和厚度的可控，并進(jìn)行了電子束光刻和超越極紫外光刻驗(yàn)證。7月28日，清華大學(xué)發(fā)布消息稱(chēng)，該?；瘜W(xué)系許華平教授團(tuán)隊(duì)在極紫外（EUV）光刻材料上取得重要進(jìn)展，開(kāi)發(fā)出一種基于聚碲氧烷的新型光刻膠，為先進(jìn)半導(dǎo)體制造中的關(guān)鍵材料提供了新的設(shè)計(jì)策略。

上市公司方面，光刻膠相關(guān)概念股有20余只，截至10月26日，已有6家公司發(fā)布三季報(bào)數(shù)據(jù)，業(yè)績(jī)?nèi)肯蚝?。晶瑞電材前三季度歸母凈利潤(rùn)1.28億元，同比增長(zhǎng)超192倍，公司表示主要系產(chǎn)品毛利上漲，交易性金融資產(chǎn)價(jià)格波動(dòng)所致。久日新材前三季度歸母凈利潤(rùn)271.98萬(wàn)元，同比扭虧。公司表示，報(bào)告期內(nèi)穩(wěn)步實(shí)現(xiàn)了部分光引發(fā)劑產(chǎn)品提價(jià)策略落地。艾森股份前三季度歸母凈利潤(rùn)為3448萬(wàn)元，同比上升44.7%，報(bào)告期內(nèi)公司下游終端需求的持續(xù)增長(zhǎng)，公司營(yíng)業(yè)收入同比穩(wěn)健增長(zhǎng)。瑞聯(lián)新材、鼎龍股份預(yù)告前三季度凈利潤(rùn)均預(yù)增，康達(dá)新材預(yù)告扭虧。

據(jù)銳觀產(chǎn)業(yè)研究院報(bào)告，2024年我國(guó)光刻膠市場(chǎng)規(guī)模增長(zhǎng)至114億元以上，預(yù)計(jì)2025年光刻膠市場(chǎng)規(guī)?？蛇_(dá)123億元。銀河證券認(rèn)為，光刻膠作為半導(dǎo)體、印制電路板、平板顯示等行業(yè)的基礎(chǔ)材料，其技術(shù)進(jìn)步可以促進(jìn)相關(guān)產(chǎn)業(yè)鏈的協(xié)同發(fā)展，上游材料供應(yīng)商、設(shè)備制造商，中游光刻膠生產(chǎn)企業(yè)，以及下游光刻膠產(chǎn)品應(yīng)用企業(yè)都能從中受益。

光刻機(jī)（膠）板塊相關(guān)股票：晶瑞電材、錦華新材、安泰科技、萬(wàn)潤(rùn)股份、佳先股份、聯(lián)合化學(xué)、艾森股份、彤程新材、鋼研納克、南大光電、江化微。

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責(zé)任編輯：劉栩